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陆芯半导体 晶圆切割机图1

陆芯半导体 晶圆切割机

2021-11-28 02:051500已售
价格:¥499999.00/台
品牌:陆芯半导体
速度:600mm/s
直线度:2μm全行程
定位精度:2μm全行程
起订:1台
供应:200台
发货:3天内
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·1.8KW(2.4KW可选) 大功率直流主轴

·高刚性龙门式结构

·T轴旋转轴采用DD马达

·进口超高精密级滚柱型导轨

·进口超高精密滚珠型丝杆

·CCD双镜头自动影像系统

·友好人机交互界面

·瑞士进口滚柱导轨,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9μm

·采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm全行程

·自动对焦功能,具有CSP切割功能,具有 在线刀痕检测功能

·NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能

·工件形状识别功能,更加友好人机界面

·自动化程序著提升

·满足各种加工工艺需求

设 备 参 数

项目

产品型号

LX3352划片机


加工尺寸

≥ø305mm/280mm×280mm

X

最大速度

600mm/s

直线度

2μm全行程

Y

定位精度

2μm全行程

单步步尽量

0.1μm

直线度

2μm全行程

 

Z

有效行程

40mm

单步步尽量

0.1μm

直线度

2μm

重复定位精度

1μm

最大刀轮直径

59mm

T

转速

120rps/min

分辨率

0.0001°

额定转矩

20N.M

主轴

转速范围

6000-60000rpm

额定输出功率

直流1.8KW

 

基础规格

电源

220V/50Hz

压缩空气

0.5-0.8Mpa 最大耗气量220L/min

切削水

0.2-0.3Mpa 最大耗水量1.5L/min

排风量

5m³/min

尺寸

1075×1160×1810mm

重量

1150KG


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